日本Fluoro福樂小型真空泵FV-10/FV-XP高效空氣微粒過濾器的技術(shù)參數(shù)

日本Fluoro福樂小型真空泵FV-10/FV-XP高效空氣微粒過濾器

FV-XP 在保持緊湊外形的同時(shí)，通過多級(jí)隔膜結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了比入門級(jí) FV-10 更高的真空度和流量。

參數(shù)項(xiàng)目 技術(shù)規(guī)格

工作原理 無油多級(jí)隔膜式 (Dry Diaphragm)

真空壓力 -60 kPa (約 -450 mmHg)

流量 2.8 l/min

額定電壓 100-120 VAC (標(biāo)準(zhǔn)) / 240 VAC (可選)

功耗 10.0 W

潔凈等級(jí) 適合潔凈室 (Cleanroom Use)

外形尺寸 約 137 (D) $\times$ 88 (W) $\times$ 133 (H) mm

預(yù)期壽命 > 8,760 小時(shí) (連續(xù)運(yùn)行)

1. 多級(jí)隔膜技術(shù) (Multi-stage Diaphragm)

FV-XP 的核心在于其內(nèi)部的密封隔膜設(shè)計(jì)。通過多級(jí)增壓結(jié)構(gòu)，它在極小的機(jī)身內(nèi)實(shí)現(xiàn)了 -60 kPa 的高負(fù)荷真空壓。這使得它不僅能驅(qū)動(dòng)微型吸筆，還能輕松應(yīng)對(duì) 8英寸甚至12英寸 的大尺寸晶圓吸附，且吸附極其穩(wěn)固。

2. 雙重 HEPA 過濾系統(tǒng)

為了嚴(yán)控生產(chǎn)環(huán)境的粒子污染，F(xiàn)V-XP 在進(jìn)氣口和排氣口均配備了可更換的 HEPA 過濾器。

過濾效率： 對(duì) $0.3\ \mu m$ 以上顆粒的過濾率達(dá) 99.97%。

可視化維護(hù)： 泵體設(shè)有透明視窗，操作員無需拆機(jī)即可檢查濾網(wǎng)的積塵狀態(tài)，確保潔凈輸出。

3. 電磁驅(qū)動(dòng)與免維護(hù)設(shè)計(jì)

該型號(hào)采用電磁驅(qū)動(dòng)力代替?zhèn)鹘y(tǒng)馬達(dá)，機(jī)械接觸摩擦極低。

無油設(shè)計(jì)： 杜絕了潤滑油泄露對(duì)真空系統(tǒng)的污染。

長壽命： 理論耐久值高，且運(yùn)行噪音遠(yuǎn)低于普通旋轉(zhuǎn)泵。

4. 全鏈路防靜電 (ESD Safe)

機(jī)身采用添加了碳纖維的導(dǎo)電尼龍材料，配合導(dǎo)電螺旋管和接地端子，能夠迅速耗散靜電荷，防止在抓取貴重芯片時(shí)發(fā)生靜電擊穿（ESD）。