日本TORAY東麗半導(dǎo)體制造MS-500氧氣分析儀的技術(shù)參數(shù)

氧氣分析儀半導(dǎo)體、電子元件用氧氣分析儀

MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

型號(hào)：MS-500

可同時(shí)測(cè)量多達(dá) 8 個(gè)點(diǎn)

顯示濃度范圍很廣，從ppm級(jí)到100

適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備、真空設(shè)備等中。

直接插入式傳感器（NW 16/25/40 法蘭，用于真空）

高耐久性傳感器采用特殊涂層，以提高其耐久性。

MS-500 規(guī)格

測(cè)量原理

氧化鋯濃縮池類型

類型

分體式（轉(zhuǎn)換器：壁掛式；傳感器：直接插入式）

顯示系統(tǒng)

4位數(shù)字顯示屏（濃度顯示屏）

測(cè)量范圍

0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol O? 10-20　～10-0 atm自動(dòng) 量程

重復(fù)性

滿量程的±0.5%以內(nèi)；范圍為0-1%或以上。
滿量程的±1%或±0.1 ppm以內(nèi)，以較大者為準(zhǔn)；范圍小于0-1%
。濃度在0-1 ppm（大氣壓）范圍內(nèi)不在保修范圍內(nèi)。

測(cè)量點(diǎn)數(shù)量

1～8

樣品氣體需求

壓力

10 -3至 200KPa（壓力）

流速

0.5 至 5,000 毫升/分鐘 或 0 毫升/分鐘（自然分散狀態(tài)下測(cè)量）

濕度

露點(diǎn)低于環(huán)境溫度

溫度

0 至 100°C

其他的

不得含有腐蝕性氣體（氟氣、氯氣、硫磺氣等）、含有機(jī)硅的氣體、易燃物質(zhì)（包括氣體）、油或水分。

參考?xì)怏w

氣氛

錄音機(jī)輸出

僅傳輸輸出

傳輸輸出

RS-232C

報(bào)警輸出

沒(méi)有任何

熱身時(shí)間

6分鐘或更短

方面

MS-500（控制器）

92 毫米（寬）×44 毫米（高）×120 毫米（深）（不含突出部分）

MS-510（轉(zhuǎn)換器）

100 毫米（寬）×40 毫米（高）×88 毫米（深）（不含突出部分）

傳感器單元

SD16NW

總長(zhǎng)度100mm（傳感器直徑11×39mm，機(jī)身直徑40×51mm）

SD25NW

總長(zhǎng)度100mm（傳感器直徑11×42mm，機(jī)身直徑40×48mm）

SD40NW

總長(zhǎng)度100mm（傳感器直徑11×41mm，機(jī)身直徑40×49mm）

重量

MS-500（控制器）

約0.6公斤

MS-510（轉(zhuǎn)換器）

約0.5公斤

傳感器單元

SD16NW

約0.2公斤

SD25NW

約0.2公斤

SD40NW

約0.35公斤

外部連接

任何真空法蘭（NW16、25 或 40）

力量

24VDC±10%